Vakuumdurchführung für Feldeffektemitter mit LTCC-Keramik

Sprache: German
Offengelegt von: Siemens AG
Autoren: Dr. Jörg Freudenberger, DE-Forchheim; Dr. Anja Fritzler, DE-Forchheim; Dr. Peter Geithner, DE-Forchheim; Dr. Christoph Jud, DE-Forchheim