Disclosure Nr.: AccessProof™ Datum: 2018-07-19 |
Gasmischrelationen zwischen den Ätzgasen die F/HBr/O/He enthalten für die Erzeugung von Trenchprofilen mit Winkelanforderungen von 90° bis 78° (getaperte Winkel) bei Verwendung von RIE Anlagen und High Density PlasmaanlagenSprache: German
AccessProof™: 2018-07-19
Persistent Identifier: urn:nbn:de:101:1-2018071916012758693019 |
<- zurück zur Liste